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FR-Scanner掃描型薄膜在線測厚儀
FR-Scanner掃描型薄膜在線測厚儀
  • FR-Scanner掃描型薄膜在線測厚儀

华东15选5的选号技巧: FR-Scanner掃描型薄膜在線測厚儀

华东15选5浙江风采网 www.hdnka.com 產品報價:詢價

更新時間:2019/10/8 14:00:53

地:其他國家

牌:ThetaMetrisis

號:FR-Scanner

廠商性質: 生產型,貿易型,

公司名稱: 邁可諾技術有限公司

產品關鍵詞: ThetaMetrisis   膜厚測試儀   薄膜測厚儀   干涉儀   膜厚儀  

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趙生 : (18221354817) (18221354817)

(聯系我時,請說明是在來寶網上看到的,謝謝?。?/b>


品牌:希臘ThetaMetrisis

名詞:膜厚儀 膜厚儀、測厚儀、干涉儀、厚度測量儀

干涉儀是利用干涉原理測量光程之差從而測定有關物理量的光學儀器。兩束相干光間光程差的任何變化會非常靈敏地導致干涉條紋的移動,而某一束相干光的光程變化是由它所通過的幾何路程或介質折射率的變化引起,所以通過干涉條紋的移動變化可測量幾何長度或折射率的微小改變量,從而測得與此有關的其他物理量。

FR-Scanner 掃描型光學膜厚儀主要由以下系統組成:

A)   光學光源裝置

小型低功率混合式光源

本系統混合了白熾燈和LED燈,最終形成光譜范圍360nm- 1100nm;該光源系統通過微處理控制,光源平均壽命逾10000小時;

集成小型光譜儀,光譜范圍360-1020nm,分辨精度 3648像素CCD 16 A/D 分辨精度.

集成式反射探針,6組透射光探針(200um),1組反射光探針,探針嵌入光源頭,可修整位置,確保探針無彎曲操作;

光源功率:3W;

B)    超快掃描系統,平面坐標內,可進行625次測量/分鐘 (8’’ wafer) 500次測量/分鐘(300mm wafer). 全速掃描時,掃描儀的功率消耗不超過200W;

樣品處理臺:最大樣品處理尺寸可達300mm. 可滿足所有半導體工藝要求的晶圓尺寸。手動調節測量高度可達25mm;配有USB通訊接口,功率:100 - 230V 115W.

C) FR-Monitor膜厚測試軟件系統,

可精確計算如下參數:

1)單一或堆積膜層的厚度;

2)靜態或動態模式下,單一膜層的折射率;本軟件包含了類型豐富的材料折射率數據庫,可以有效地協助用戶進行線下或者在線測試分析。本系統可支持吸收率,透射率和反射率的測量,還提供任何堆積膜層的理論性反射光譜,一次使用授權,即可安裝在任何其他電腦上作膜厚測試后的結果分析使用。

D) 參考樣片:

a) 經校準過的反射標準硅片;

b) 經校準過的帶有SiO2/Si 特征區域的樣片;

E) 附件

可定制適用于半導體工藝的任何尺寸的晶圓片(2, 3, 4, 5, 6, 200mm, 300mm)