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SEMISHARE SX-12 系列半自動晶圓探針臺
SEMISHARE SX-12 系列半自動晶圓探針臺
  • SEMISHARE SX-12 系列半自動晶圓探針臺

华东15选5开奖直播现场: SEMISHARE SX-12 系列半自動晶圓探針臺

华东15选5浙江风采网 www.hdnka.com 產品報價:10000元

更新時間:2019/10/15 8:50:02

地:香港

牌:semishare

號: SX-12

廠商性質: 生產型,貿易型,服務型,

公司名稱: 深圳市森美協爾科技有限公司

產品關鍵詞: 調阻機   晶圓測試   高低溫探針臺   全自動探針臺   真空探針臺  

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向先生 : (18820253316) (0755-26906952-8004)

(聯系我時,請說明是在來寶網上看到的,謝謝?。?/b>


SX系列半自動晶圓探針臺
型號SX-6SX-8SX-12
外形(W*D*H1000mm*1400mm*1400mm1100mm*1500mm*1400mm1200mm*1600mm*1400mm
重量1000KG1150KG1350KG
電力需求AC220V,50~60Hz
CDA需求0.4~0.8Mpa
Chuck尺寸6812
X-Y軸行程200mm*300mm250mm*400mm350mm*500mm
X-Y軸移動解析度0.1μm
X-Y軸重定位精度±1μm
X-Y移動速度70mm/sec
Z軸行程20mm
Z軸移動解析度0.1μm
Z軸重定位精度±1μm
Z軸移動速度20mm/sec
Theta角度行程±10°Theta角度解析度0.0001°
樣品固定方式多孔真空吸附,獨立分開控制
更換樣品方式Chuck快速拉出
結構三軸超低噪聲設計,鍍金,電學獨立懸空(chuck可作為背電極)
針座平臺規格O型平臺,最多可放置12個針座(不安裝八角盒時)
顯微鏡X-Y-ZX-Y軸行程2* 2
X-Y軸移動解析度0.1μm
X-Y軸重定位精度±2μm
X-Y移動速度10mm/sec
Z軸行程5
Z軸移動解析度0.1μm
Z軸重定位精度±1μm
Z軸移動速度10mm/sec
顯微鏡變倍顯微鏡151三檔變倍顯微鏡,可同時顯示低倍和中倍/高倍畫面,便于點針操作
相機雙相機(200W或者500W 工業級數字相機)
點針規格點針精度10μm / 2μm / 0.7μm
X-Y-Z行程12mm-12mm-12mm
漏電精度10pA / 100fA / 10fA
接口形式香蕉頭/同軸 /三軸/ SMA /SHV
固定方式磁力吸附   / 真空吸附
溫控組件溫度范圍60-200℃(標準)
溫控穩定性±0.1
溫控分辨率0.01
升溫時間
    (
12″卡盤)
60℃至+25℃≤15分鐘
   
+25℃至+200℃≤25分鐘
降溫時間
    (
12″卡盤)
200℃至+25℃≤30分鐘
    ﹢
25 -60℃≤50分鐘
噪聲50dB
加熱方式低壓直流加熱/PID控制
制冷方式壓縮機制冷
減震減震方式空氣薄膜減震系統,確保2000X放大時畫面不抖動
震動抑制在運動過程中以及起始或者停止時能夠極快的速度保證設備的平穩≤1S,提高測試效率。
系統屏蔽EMI屏蔽> 30 dB (typical) @ 1 kHz to 1 MHz
光衰減 130   dB
光譜噪聲基底   -180 dBVrms/rtHz ( 1   MHz)
系統交流噪聲 5   mVp-p ( 1 GHz)
軟件功能自動測量和補償Wafer高度可對儀表的輸入輸出參數進行管理編程可實時顯示測試結果
自動align,校準晶圓校水平可對測試結果進行bin值劃分,判斷器件好壞器件測試應用獨立升級
自動測量Die size及生成map多系統集成迅速完成,可支持單點或連續測試強大的數據儲存能力以及數據處理能力
任意wafer map 編輯支持Z,N形等測試自動保存數據以及數據曲線,且數據可遠程訪問
差異數據的標定Ink mark一鍵自動校準RF探針???,自動清針功能通訊接口:R232/485/TCP/IP/GPIB
操作系統與應用分離;操作系統可獨立式升級,應用獨立升級


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